1540万元！2则学校采购意向公告

中国政府采购网近日发布“山东大学2022年5月政府采购意向”，总预算金额1540万元。​

“超高分辨率光学表面缺陷分析仪”，设备名称：超高分辨率光学表面缺陷分析仪。适应于SiC衬底及同质外延片的缺陷检测。尺寸：4", 6", 8"。设备可以检测的缺陷必须至少包括：划痕（scratch），凹坑（pit），突起（bump），微管（micropipe），胡萝卜（carrot），三角形（triangle），Downfall，堆垛层错缺陷（Stacking Fault），基平面位错（BPD）等各结晶及加工缺陷，设备对同一晶圆的不同工序中检测出的缺陷拥有缺陷坐标跟踪功能。设备的操作软件具备缺陷review功能，设备具备深度学习（Deep Learning）的缺陷分类系统，提供相应的软件系统和license。采购1台。

“8英寸单片清洗甩干机”，设备名称：8英寸单片清洗甩干机实现6-8英寸碳化硅单晶衬底及外延晶圆的单片清洗，去除正面及背面表面颗粒、有机物及金属残留等。品质良好的 6寸SIC 衬底 （无蜡残留）清洗后≧0.2um Particle≦1500个 ，清洗后≧0.3um Particle≦50个 （ 协助项目：清洗后≧0.2um Particle≦500个，清洗后≧0.2um Particle≦10~30个）；表面金属杂质含量≦5e10 atoms/cm2， （ 使用TXRF法检测 金属元素：K Ca Cr Mn Fe Ni Cu Zn Ti）。采购数量1台。设备 交付给客户使用后 售后 服 务 有 厂家 MT K 株式会社 为主导 进行售后 服务 以及 代理店 的 协助 售后服务。

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